Многослойные тонкопленочные покрытия на основе нитридов хрома и алюминия
T6N3
Многослойные тонкопленочные покрытия на основе
нитридов хрома и алюминия: сравнительный
послойный анализ методами масс-спектрометрии
вторичных ионов и оптической эмиссионной
спектроскопии с тлеющим разрядом
Александр Борисович Толстогузов
Department of Chemistry, University of Florence, via della Lastruccia 3, 50019 Sesto
Fiorentino (FI), Italy, E-mail: alexander.tolstoguzov@unifi.it
Поступила в редакцию 15.12.2008 г.; после переработки 26.02.2009 г.
Методами масс-спектрометрии вторичных ионов и оптической эмиссионной спектроскопии с тлеющим разрядом на четырех стандартных установках проведено профилирование многослойных тонкопленочных покрытий CrN/AlN, осажденных методом магнетронного напыления на никелевом сплаве. Наилучшие результаты с точки зрения послойного разрешения и чувствительности были получены на квадрупольном микрозонде CAMECA SIMS 4550 с первичными ионами O2 + с энергией 3 кэВ. Решающим фактором было вращение образца, которое позволило ослабить негативное влияние исходной и ионно-индуцированной шероховатости поверхности на качество профилирования.
