Анализ кремния
T6N4
Анализ кремния с помощью время-пролетного
масс-спектрометра с импульсным тлеющим разрядом Люмас-30
Александр Ахатович Ганеев, Анна Романовна Губаль,
Сергей Васильевич Потапов, Роман Валентинович Тюкальцев
Санкт-Петербургский государственный университет, химический факультет,
Россия, 198504, Санкт-Петербург, Ст. Петергоф, Университетский пр., 26,
E-mail: ganeev@lumex.ru
Поступила в редакцию 16.05.2009 г.; после переработки — 25.06.2009 г.
Для прямого анализа высокочистого поликристаллического кремния предложен метод время-пролетной масс-спектрометрии с источником ионов на основе импульсного тлеющего разряда. Для градуировки системы использовались образцы металлургического кремния известного состава. Оптимизация параметров разряда позволила увеличить интенсивности определяемых и уменьшить интенсивности мешающих компонентов. Для улучшения правильности результатов измерений были определены коэффициенты относительной чувствительности по образцам кремния, состав которых был определен другими независимыми методами. На примере металлургического кремния сравнены возможности методов атомно-эмиссионной спектроскопии с индуктивно-связанной плазмой, массспектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ИСП МС) с растворением пробы и с лазерной абляцией и время-пролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом (Люмас-30). Проведено сравнение результатов анализа методами время-пролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом, искровой масс-спектрометрии и ИСП МС с лазерной абляцией.
