Многослойные тонкопленочные покрытия на основе нитридов хрома и алюминия
T6N3
Многослойные тонкопленочные покрытия на основе
нитридов хрома и алюминия: сравнительный
послойный анализ методами масс-спектрометрии
вторичных ионов и оптической эмиссионной
спектроскопии с тлеющим разрядом
Александр Борисович Толстогузов Читать полностью
Ионно-плазменная обработка поверхности контактов герконов
T10N4
Ионно-плазменная обработка поверхности контактов
герконов: исследования методом масс-спектрометрии
вторичных ионов
Александр Борисович Толстогузов1, Михаил Николаевич Дроздов2,
Игорь Аркадьевич Зельцер3, Карен Арнольдович Арушанов3,
Орланду М.Н. Дуарте Теодору1