Хроматомасс‑спектрометрическая идентификация примесей в изотопно‑обогащенном силане
T4N2
Хроматомасс‑спектрометрическая идентификация
примесей в изотопно‑обогащенном силане
В.А. Крылова, О.Ю. Черноваб, А.Ю. Созина
аНижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, химический
факультет, просп. Гагарина 23, 603950 Нижний Новгород, Россия.
E-mail: krylov@ihps.nnov.ru
бИнститут химии высокочистых веществ Российской академии наук, ул. Тропинина 49,
603950 Нижний Новгород, ГСП-75, Россия.
Поступила в редакцию 17.04.2007 г.: после переработки – 22.05.2007 г.
Методом газовой хроматографии/масс-спектрометрии с использованием сравнения экспериментальных масс-спектров с масс-спектрами базы данных библиотеки NIST-98 осуществлена идентификация примесей в изотопно-обогащенном силане высокой чистоты. Природу примесей минорных компонент устанавливали по наиболее интенсивному пику масс-спектра и времени удерживания соответствующего вещества. Впервые в силане идентифицированы непредельные фторсодержащие углеводороды, гексафторид серы и ксенон. Существенно расширен список других групп загрязнений. Всего обнаружено присутствие 41 примесного вещества.