ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

T5N4

Хроматомасс-спектрометрическое определение
примесей в изотопно-обогащённом силане
высокой чистоты

В.А. Крылов^а,б, А.Ю. Созин^б, В.А. Зорин^а,
В.Г. Берёзкин^в, А.В. Крылов^а

^аНижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского,
пр. Гагарина 23, 603950 Нижний Новгород, Россия. E-mail:k658995@mail.ru
^бИнститут химии высокочистых веществ РАН, ул. Тропинина 49, 603950
Нижний Новгород, Россия. E-mail: krylov@ihps.nnov.ru
^вИнститут нефтехимического синтеза им. А.В. Топчиева РАН,
Ленинский проспект 29, 119991 Москва, Россия.

Поступила в редакцию 05.05.2008 г.; после переработки –  10.07.2008 г.
Разработана методика хроматомасс-спектрометрического определения в изотопно-обогащённом  силане высокой чистоты примесей постоянных газов, диоксида углерода, ксенона, углеводородов  С1–С5, гидридов IV–VI групп Периодической системы, фтор- и хлорсодержащих углеводородов  С1–С2, алкилпроизводных силана, гомологов силана, дисилоксана, гексафторида серы с пределами обнаружения 8×10–6 –9×10–8 мольн. %. Примеси дисилоксана, трисилана, алкилсиланов  и некоторых органических веществ, недоступных в индивидуальном состоянии, определялись  через сечения их ионизации.

ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

Ключевые слова: T5N4 газовая хроматография/масс-спектрометрия изотопно-обогащённый силан правильность пределы обнаружения примеси

Категории: T5N4