Атомнозондовая масс-спектрометрия
T6N4
Атомнозондовая масс-спектрометрия
Александр Борисович Толстогузов
Department of Chemistry, University of Florence, via della Lastruccia 3,
50019 Sesto Fiorentino (FI), Italy,
E-mail: alexander.tolstoguzov@unifi.it
Поступила в редакцию 03.04.2009 г.; после переработки — 13.07.2009 г.
Дан краткий обзор этапов развития и современного состояния атомно-зондовой масс-спектрометрии (атомного зонда), включая трехмерную томографию с лазерным испарением пробы. Обсуждаются вопросы подготовки образцов, приведены результаты исследований металлов и сплавов, полупроводниковых структур и диэлектрических пленок, органических материалов. Высокое пространственное разрешение (0.1–0.3 нм по каждому направлению) и элементная чувствительность (лучше 10–3 ат. %) позволяют считать атомный зонд перспективным аналитическим методом для нанотехнологических исследований.
