Метод нейтрализации поверхностного заряда
T9N1
Метод нейтрализации поверхностного
заряда при анализе непроводящих образцов
на масс-спектрометре вторичных ионов
Станислав Андреевич Киселев, Лариса Васильевна Цыро,
Дмитрий Александрович Афанасьев, Алена Феликсовна Унгер,
Феликс Гергардович Унгер
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования «Национальный исследовательский
Томский государственный университет»,
Россия, 634050, г. Томск, пр. Ленина, 36,
E-mail: stanislav.Kiselev.89@mail.ru
Поступила в редакцию 27.12.2011 г.; после переработки — 08.02.2012 г.
Описывается способ нейтрализации поверхностного заряда, возникающего при исследовании непроводящих объектов методом масс-спектрометрии вторичных ионов. Нейтрализация заряда осуществляется за счет нанесения на поверхность образца слоя графита. Контакт между алюминиевой подложкой и образцом создается с помощью токопроводящего клея. Рабочим газом системы является гелий. Эксперимент проведен на масс-спектрометре вторичных ионов МС-7201М с приставкой ионного травления. На основе этого способа отработана методика качественного элементного анализа непроводящих образцов. Показано ее применение для получения информации об элементном составе накипей. Показана возможность получения количественной интерпретации результатов на примере оценки содержания кальция в образце накипи.