ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

T10N4

Ионно-плазменная обработка поверхности контактов
герконов: исследования методом масс-спектрометрии
вторичных ионов

Александр Борисович Толстогузов¹, Михаил Николаевич Дроздов²,
Игорь Аркадьевич Зельцер³, Карен Арнольдович Арушанов³,
Орланду М.Н. Дуарте Теодору¹

¹Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fi ‘sica da Faculdade
de Ciе ^ncias e Tecnologia (FCT), Universidade Nova de Lisboa, Portugal, Campus de
Caparica, 2829-516 Caparica
E-mail: a.tolstoguzov@fct.unl.pt
²Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт физики микроструктур Российской академии наук,
Россия, ГСП-105, 603950, Нижний Новгород
³ОАО «Рязанский завод металлокерамических приборов»,
Россия, 390027, Рязань, ул. Новая 51В

Поступила в редакцию 11.06.2013 г.; после переработки — 22.07.2013 г.
Времяпролетный масс-спектрометр вторичных ионов TOF.SIMS-5, работающий с импульсным аналитическим пучком ионов Bi + с энергией 25 кэВ и распыляющим пучком ионов Cs+ с энергией 2 кэВ, использовался для изучения состава приповерхностных слоев контактов из железоникелевого сплава (пермаллоя) после их обработки в импульсной азотной плазме непосредственно в герметизированных приборах. В области пере крытия контактов (рабочей области) было обнаружено образование оксинитридного покрытия толщиной 20–25 нм. Установлено, что это покрытие имеет диффузионный характер, и его происхождение связано преиму щественно с процессами ионного азотирования.

ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

Ключевые слова: времяпролетная масс-спектрометрия вторичных ионов геркон ионно-плазменная обработка ионное азотирование катодное распыление послойный анализ с ионным распылением

Категории: T10N3