Изотопный анализ высокообогащенного кристаллического 28Si и исходного 28SiF4 методом масс-спектрометрии высокого разрешения с индуктивно связанной плазмой
T15N3
Полина Андреевна Отопкова, Александр Михайлович Потапов,
Александр Иванович Сучков, Андрей Дмитриевич Буланов,
Артем Юрьевич Лашков, Александра Евгеньевна Курганова
Описана методика определения изотопного состава высокообогащенного кремния в виде элементарного 28Si и исходного 28SiF4 методом масс-спектрометрии высокого разрешения с индуктивно связанной плазмой в широком диапазоне изотопных концентраций (более 6-ти порядков величины). Для расширения диапазона измеряемых изотопных концентраций сигналы основного и «примесных» изотопов регистрировали в растворах разной концентрации. Определение коэффициентов матричного влияния и дискриминации по массам проводили с применением метода изотопного разбавления. Данная методика позволила реализовать неопределенность измерения концентрации основного изотопа до десятитысячных долей процента при обогащении > 99.999% на одноколлекторном масс-спектрометре высокого разрешения с индуктивно связанной плазмой.
