ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

T6N1

Оценка неопределенности измерения изотопного
состава высокообогащенного
²⁸Si методом лазерной масс-спектрометрии

Игорь Дмитриевич Ковалев, Александр Михайлович Потапов

Учреждение Российской академии наук Институт химии высокочистых веществ РАН,
Россия, 603950, г. Нижний Новгород, ул. Тропинина 49,
E-mail: ikovalev@ihps.nnov.ru

Поступила в редакцию 12.09.2008 г.; после переработки – 22.12.2008 г.
Описана методика оценки неопределенности измерения изотопного состава обогащенного  кремния-28 в виде монокристалла, тетрафторида кремния и силана. Показано, что при использовании калия в качестве внутреннего изотопного стандарта неопределенность измерения  лимитируется неопределенностью табличных значений природной распространенности его изотопов. Установлено, что при прямом анализе высокообогащенного поли- и монокристаллического  кремния-28 необходим учет наложения иона  ²⁸SiH+ на ион  ²⁹Si +. Определение его величины  и коррекция результатов позволили повысить их правильность.

ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

Ключевые слова: T6N1 изотопно обогащенный кремний изотопы масс-спектрометрия с лазерной ионизацией

Категории: T6N1