ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

T7N1

Применение времяпролетной масс-спектрометрии
для непрерывного контроля микропримеси гелия
в промышленном производстве особо чистых
инертных газов

Валерий Тимофеевич Ждан¹, Александр Васильевич Козловский¹,
Александр Николаевич Можаев¹, Иван Иванович Пилюгин^1,2

¹ ЗАО «МЕТТЕК»,
Россия, 195220, Санкт-Петербург, ул. Гжатская, 27,
E-mail: manage@mettek.ru
²Учреждение Российской академии наук
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН,
Россия, 194021, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, 26,
E-mail: i.pilyugin@mail.ioffe.ru

Поступила в редакцию 09.06.2009 г.; после переработки — 14.01.2010 г.  
Разработан промышленный времяпролетный масс-спектрометр ЭМГ-20-9 для контроля в режиме реального времени микропримеси гелия при концентрации последнего на уровне 0.05 ppm. Спектрометр внедрен в производство для осуществления непрерывного контроля состава газовой смеси в технологии очистки неона от примеси гелия, несмотря на большую разницу в концентрациях компонент смеси. Прибор сертифицирован как средство измерения и внесен в Государственнывй реестр средств измерения Российской Федерации. Показана возможность применения прибора такого типа для контроля промышленного производства ксенона и криптона из воздуха.

ВЕРНУТЬСЯ К ОГЛАВЛЕНИЮ

Ключевые слова: T7N1 V-образный масс-рефлектрон времяпролетный масс-спектрометр гелий криптон ксенон линейный масс-рефлектрон неон особо чистые газы промышленная масс-спектрометрия

Категории: T10N1