Анализ пленок карбонитрида кремния методом лазерной масс-спектрометрии
T10N2
Анализ пленок карбонитрида кремния методом
лазерной масс-спектрометрии
Виталий Игоревич Сысоев, Дмитрий Юрьевич Троицкий,
Анатолий Ильич Сапрыкин
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН,
Россия, 630090, Новосибирск, пр. Ак. Лаврентьева, 3,
E-mail: saprykin@niic.nsc.ru
Поступила в редакцию 28.01.2013 г.; после переработки — 17.03.2013
Рассмотрены возможности лазерной масс-спектрометрии для определения основного состава пленок кар бонитрида кремния (SiCxNy ), нанесенных на подложки из германия и арсенида галлия. Подобраны условия лазерного пробоотбора и проведена юстировка и градуировка прибора, что позволило выполнять количественное определение основных компонентов пленок SiCxNy , синтезированных методом плазмохимического осаждения. Для градуировки по содержанию углерода, азота, кислорода и кремния использовали стехиометрические соединения кремния: SiC, Si3N4 и SiO2. Предложен способ полуколичественной оценки содержания водорода в пленках карбонитрида кремния.
